Multipasszellen-basierte EUV-Quellen für Industrie, Forschung und Life Science (MULTIPASS)

Teilprojekt der LAYERTEC GmbH

Optiken für die Pulskompression mit Hochleistungs-Multipasszellen

Projektpartner

Active Fiber Systems GmbH, JenaFriedrich-Schiller-Universität Jena, Institut für Angewandte Physik

Vorhabensbeschreibung

Gemeinsam mit den Partnern sollen Multipasszellen zur Pulsverkürzung von Hochleistungs-Ultrakurzpulslasern erarbeitet werden. Projektziel sind UKP-Lichtquellen, die im Wellenlängenbereich um 1000 nm extrem kurze Lichtpulse (τ < 10 fs) mit hoher mittlerer Leistung emittieren. LAYERTEC erarbeitet dabei die Substrate und Beschichtungen der Spiegel für verschiedene Typen von Multipasszellen.Bei den Partnern soll die Strahlung in den EUV-Bereich konvertiert werden, um dem Anwender ein leistungsfähiges Werkzeug zur Untersuchung extrem kleiner Strukturen (Bakterien, Viren, Strukturen auf Mikrochips) zur Verfügung zu stellen.

Ergebnisse

Es wurden verschiedene Multipasszellen entwickelt und erfolgreich bei den Partnern getestet. Die Spiegel für die Zellen sind auf die spezifischen Bedingungen bei den Projektpartnern ausgelegt (Länge der Multipasszelle, Gasart, Druck). Im 1 µm-Bereich gelang z. B.

• die Kompression von 200 fs auf 30 fs mit 950 W Ausgangsleistung
• die Kompression von 30 fs auf 7 fs mit Hilfe extrem breitbandiger Beschichtungen
• die Kompression von 200 fs auf 13 fs mit einem speziellen Spiegel-Array

Weiterhin wurden erstmals Multipasszellen für den 2 µm-Bereich demonstriert. Hier wurden 15 fs-Pulse erreicht.