Lateral strukturierte optische Interferenzschichtbauelemente für den Einsatz in Hochleistungslasern

Vorhabensbeschreibung

Das Ziel des Projektes ist die Erarbeitung lateral strukturierter interferenzoptischer Bauelemente auf der Basis qualitativ hochwertiger Beschichtungen. Besonderes Augenmerk wird auf die laserinduzierte Zerstörschwelle der Optiken gerichtet, um den späteren Einsatz der Optiken in Hochleistungslasern zu ermöglichen.

Ergebnisse

Im Rahmen des Projektes konnte eine Strukturierungstechnologie erarbeitet werden, die steile Kanten der strukturierten Schichten ermöglicht. Je nach Gesamtschichtdicke entstanden Übergangsbereiche, die zwischen 5 µm und 20 µm breit waren. Die Zerstörschwelle der Beschichtungen wurde durch den Strukturierungsprozess nicht beeinträchtigt. Somit können Bauteile hergestellt werden, bei denen transmittierende und reflektierende Flächen oder Spiegel für unterschiedliche Wellenlängen nur wenige µm auseinanderliegen.