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Bauteile für die höheren Harmonischen des Titan-Saphir-Lasers (140 – 250 nm)

Die vierte, fünfte und sechste Harmonische des Titan-Saphir-Lasers liefern fs-Pulse im DUV/VUV-Bereich. Diese Harmonischen bieten eine Vielzahl von Anwendungen in der Spektroskopie und in der Materialwissenschaft. Optiken für diese sehr speziellen Anwendungen müssen auf hohe Reflexion und geringe Dispersion optimiert sein. Spiegel und Separatoren für den Wellenlängenbereich 125 - 215 nm bestehen aus Fluoridschichtsystemen auf CaF2-Substraten, während Komponenten für längere Wellenlängen aus Oxiden hergestellt werden können. Für Spiegel empfiehlt LAYERTEC Substrate mit einer Dicke von 3 mm oder 6,35 mm, um gute Ebenheitswerte zu erreichen. Für spezielle Separatoren bietet LAYERTEC Substrate aus Quarzglas oder Calziumfluorid mit einer Dicke von 1 mm oder 0,5 mm an.

Umlenkspiegel und Separatoren für die vierte Harmonische bei AOI = 45°

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Abb.1:Reflexions- und GDD-Spektren eines Separators für die vierte Harmonische aus den längerwelligen Harmonischen und der Grundwellenlänge (AOI = 45°)
a)Reflexion vs. Wellenlänge (gemessen)
b)Reflexion vs. Wellenlänge (berechnet)
c)GDD vs. Wellenlänge (gemessen)

Bauteile für die fünfte Harmonische bei AOI = 45°

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Abb.2:Reflexions- und GDD-Spektren eines Umlenkspiegels für 160 nm (AOI = 45°)
a)Reflexion vs. Wellenlänge (gemessen)
b)GDD vs. Wellenlänge (berechnet)

Bauteile für die sechste Harmonische bei AOI = 45°

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Abb.3:Reflexions- und GDD-Spektren eines Umlenkspiegels für 133 nm (AOI = 45°)
a)Reflexion vs. Wellenlänge (gemessen für unpolarisiertes Licht)
b)GDD vs. Wellenlänge (berechnet)

Bandbreite des Reflexions- und Low-GDD-Bereichs von Standardbauteilen

  • Mit den auf Seite Bauteile für die dritte Harmonische des Titan-Saphir-Lasers (250 – 400 nm) beschriebenen Beschichtungen lassen sich die in der folgenden Tabelle angegebenen Zentralwellenlängen erreichen. Für verschiedene Wellenlängenbereiche werden unterschiedliche Beschichtungsmaterialien verwendet.
  • Alle Beschichtungen sind für breite Reflexionsbänder, hohen Reflexionsgrad und niedrige GDD optimiert.
Tabelle 1:Bandbreite des Reflexions- und Low-GDD-Bereichs von Standardbauteilen
BauteilWellenlängenbereichP-Polarization (|GDD| < 20 fs²)S-Polarization (|GDD| < 20 fs²)
Umlenkspiegel oder Separator 3. Harmonische250 nm – 330 nm30 nm (R > 99 %)50 nm (R > 99 %)
Doppelwellenlängen-Umlenkspiegel250 nm – 330 nm
370 nm – 500 nm
15 nm (R > 99 %)
34 nm (R > 99 %)
26 nm (R > 99 %)
72 nm (R > 99 %)
Umlenkspiegel oder Separator 4. Harmonische180 nm – 250 nm5 nm (R > 93 %)15 nm (R > 97 %)
Umlenkspiegel oder Separator 5. Harmonische140 nm – 180 nm4 nm (R > 90 %)12 nm (R > 97 %)
Umlenkspiegel oder Separator 6. Harmonische125 nm – 140 nm8 nm (R > 85 % unpolarisiert)
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