Spezielle Metallbeschichtungen (400 – 10 000 nm)

Chrombeschichtungen für optische Anwendungen

Chrombeschichtungen werden für lithographische Prozesse und andere spezielle optische Anwendungen eingesetzt. LAYERTEC bietet Chrombeschichtungen mit extrem niedriger Pinhole-Dichte auf Maskenrohlingen und Siliziumwafern an. Typische Substratgrößen sind 6 Zoll × 6 Zoll, aber auch ungewöhnliche Größen bis zu einem Durchmesser von 600 mm sind möglich. LAYERTEC verwendet spezielle Sputterprozesse für eine sehr effiziente industrielle Produktion. Diese Prozesse sind optimiert für:

• Niedrige Pinhole-Dichte
• Hohe optische Dichte
• Geringe mechanische Belastung
• Hohe elektrische Leitfähigkeit

Neben der Herstellung von Großserienbeschichtungen bietet LAYERTEC auch die Möglichkeit der flexiblen Produktion von Kleinserien wie OEM-Komponenten oder Komponenten für Forschung und Entwicklung. Zögern Sie nicht, LAYERTEC für Ihre spezielle Anfrage zu kontaktieren.

Breitband-Neutraldichtefilter für das NIR

• Nahezu konstante Durchlässigkeit für einen breiten Wellenlängenbereich von 1 µm bis 10 µm
• Substrat: BaF₂
• Andere Transmissionswerte auf Anfrage

Lötfähige Beschichtungen

Das Löten ist eine der wichtigsten Montagetechniken für Optiken, die einen hervorragenden thermischen Kontakt zu einem Kühlkörper benötigen. LAYERTEC hat verschiedene Beschichtungsdesigns entwickelt, die Gold und andere Metalle enthalten und zum Löten der Optiken verwendet werden können. Eine spezielle Herausforderung ist das Löten von Beschichtungen auf Komponenten für Hochleistungsanwendungen. Abb. 2 zeigt einen Pumpspiegel, der an der Oberkante mit einem lötfähigen Schichtsystem und auf der Vorder- und Rückseite mit dielektrischen Schichten versehen ist. Dabei ist besonders darauf zu achten, dass keine metallischen Verunreinigungen auf den optischen Oberflächen entstehen. Dennoch muss die Lötschicht die gesamte Oberkante des Substrats bedecken.

Goldspiegel für den NIR-Spektralbereich

Optische Eigenschaften

• Ungeschütztes Gold:
  • R > 97 % von 700 nm bis 1 µm
  • R > 98 % für λ > 1 µm bis 20 µm

Spezielle Eigenschaften

• Äußerst geringe Streuverluste (Gesamtstreuung TS < 100 ppm bei 633 nm)
• Goldspiegel sind chemisch stabil und können ohne Schutzschicht verwendet werden
• Ungeschütztes Gold ist weich und verkratzt leicht
• Geschützte Spiegel können gereinigt werden (getestet nach MIL-M-13508C § 4.4.5)

Teilweise durchlässige Goldschichten für optische und nicht-optische Anwendungen

Goldschichten mit einer Dicke von 10 nm bis 50 nm können als Teilreflektoren oder Dämpfungselemente im NIR-Spektralbereich eingesetzt werden. Abb. 5 zeigt Transmissionsspektren von Goldschichten mit unterschiedlicher Dicke. Darüber hinaus sind dünne Goldschichten auch für nicht-optische Anwendungen nützlich. Ein Beispiel für eine solche Anwendung ist die Erzeugung von Einzelelektronenpulsen. Dünne Metallschichten werden mit Femtosekunden-Laserpulsen bestrahlt. Dies führt zur Freisetzung von Elektronen. Diese Elektronenpulse werden mit der Repetitionsrate des UKP-Lasers erzeugt. Die Pulslänge dieser Elektronenpulse kann mit Hilfe einer Mikrowellenkavität bis in den Attosekundenbereich komprimiert werden [1, 2]. Durch Magnetronsputtern lassen sich teildurchlässige Goldschichten in dem genannten Dickenbereich herstellen. Die optischen Parameter dieser Schichten sind sehr stabil, da Gold chemisch inert ist. Bitte beachten Sie, dass Goldschichten weich sind und leicht mechanisch beschädigt werden können.

Literatur

[1] A. Gliserin, A. Apolonski, F. Krausz, P. Baum: “Compression of single electron pulses with a microwave cavity”; New Journal of Physics 14(2012) 073055 (18 ff)

[2] M. Aidelsburger, F. O. Kirchner, F. Krausz und P. Baum: “Single-electron pulses for ultrafast diffraction”; PNAS Vol.107, No.46, Seiten 19714-19719